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一种光波导探测器

类别 : 发明专利        专利号 : 201610624972.7

所属区域:中国内地

出售价格: 15000.00

促销价: 15000.00

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商品信息

专利名称:一种光波导探测器 专利号:201610624972.7 去官网验证 所属区域:中国内地 专利状态:已下证书
所属行业:电学-基本电气元件

商品展示

用途:申报项目


技术领域:本发明涉及半导体领域,特别涉及一种光波导探测器。


专利说明:本发明,通过在锗波导上设置锗高掺杂区,相当于在锗波导上设置电极,锗波导上 的电极可以与硅波导上异性的电极形成PN结,从而能够增强锗波导内的电场强度,提高光 生载流子的迁移速率,进而能够有效提高光波导探测器的带宽。



本发明提供了一种光波导探测器,包括沿第一方向堆叠的硅衬底层、波导层、纳米氧化锌空心柱层和电极层,波导层位于硅衬底层和纳米氧化锌空心柱层之间,纳米氧化锌空心柱层位于波导层和电极层之间,波导层包括硅波导层和锗波导层,锗波导层位于硅波导层和纳米氧化锌空心柱层之间;纳米氧化锌空心柱层为纳米氧化锌柱阵列,纳米氧化锌空心柱层包括第一金属过孔,第一金属过孔连接第一锗高掺杂区与电极层;硅波导层包括沿第二方向排列的P型硅高掺杂区、P型硅轻掺杂区、N型硅轻掺杂区和N型硅高掺杂区,第二方向垂直于第一方向。本发明光波导探测器的光生载流子产生量高、光生载流子在电场中的传输速率相对较高和光波导探测器的带宽相对较高。

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